این نوعی تقطیر در محیط خلاء بالا است، برای تفاوت مسیر آزاد حرکت مولکولی مواد، در مواد حساس به حرارت یا فرآیند تقطیر و تصفیه مواد با نقطه جوش بالا انجام شد. تقطیر مسیر کوتاه عمدتاً در صنایع شیمیایی، دارویی استفاده می شود. پتروشیمی، ادویه، پلاستیک، نفت و سایر زمینه ها.